【作者】 刘明； 王丛舜； 谢常青； 龙世兵； 李志钢； 张立辉； 易里成荣；
【机构】 中国科学院微电子研究所；
【摘要】 <正> 目前国际上主要采用从“自上而下”和“自下而上”两个方向开展纳米电子及其器件和集成更多还原
