化学腐蚀方法制备深振幅Al调制靶的的工艺研究

【作者】 孙骐； 周斌； 沈军； 吴广明； 杨帆；

【机构】 同济大学波耳固体物理研究所；

【摘要】 在惯性约束聚变(ICF)实验中,为了达到点火条件,必须将Rayleigh-Taylor(R-T)不稳定性导致的不均匀性增长控制在允许的范围内。精密化分解实验是研究R-T不稳定性的重要手段,随着分解实验的深入,要求在具有大周期、深振幅的调制靶型上进行实验以便更精确地测定R-T不稳定性的增长。因此,针对分解实验的要求,展开对大周期、深振幅的铝调制靶的化学腐蚀制备研究。以半导体光刻工艺结合腐蚀工艺在铝箔表面引入调制图形,通过对实验参数(温度、时间等)和图形形貌的研究,获得了铝调制靶的制备工艺流程并对调制靶参数进行了测量。更多还原