微型平面薄膜气敏元件及过冲驰豫现象的机理

【作者】 邢建平； 李秀宇； 曾繁泰； 李伟业； 蔡成森； 李娟； 孟令国；

【Author】 Xing Jianping Li Xiuyu Zeng Fantai Li Weiye Cai Chengsen Li Juan Meng Lingguo (School of Info. Sci.&Eng. Shandong University Jinan 250100)

【机构】 山东大学信息科学与工程学院；

【摘要】 利用粉末反溅研制了SnO₂/CeO₂ Si基微型平面薄膜元件,最佳乙醇灵敏度达到80,响应时间<10s,恢复时间<15s;采用闭式实验测量方法时出现了过冲驰豫现象,对其产生机理的物理过程进行了分析,找出了规律,并使用Matlab软件进行了仿真。更多还原

【Abstract】 The SnO₂/CeO₂ thin film gas sensor has been made by using anti-powder sputter method. It’s sensitivity is about 80.The response time is less than 10 seconds and the recovery time is less than 15 seconds. The close-room experiment has been researched. The electrical conductivity response shows the over-shot phenomenon. The physics procedure and law have been studied and imitated by using Matlab tool.更多还原