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等离子体表面处理对YBCO薄膜表面形貌的研究
Effect of high-density plasma annealing on YBCO film by MOD
【作者】 赵跃； 刘敏； 董杰； 梁锦霞； 何嘉； 索红利； 周美玲；
【Author】 ZHAO Yue, LIU Min, DONG Jie, LIANG Jin-xia, HE Jia, SUO Hong-li, ZHOU Mei-ling(The Key Laboratory of Advanced Functional Materials, Ministry of Education China,Beijing University of Technology, Beijing 100022, China)
【机构】 北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室；
【摘要】 采用自制的等离子表面处理装置对MOD法制得YBCO薄膜进行表面处理。我们通过控制等离子处理时间,辉光电流,处理温度以及退火的工艺流程,发现YBCO超导薄膜表面成分,表面形貌发生的明显的改变。这种简易快速的方法将对YBCO薄膜表面质量提高起到有效的作用。
【Abstract】 Effects of plasma annealing with Ar+ on the properties of YBCO film prepared by MOD were investigated. After plasma treatment, it was found that the surface of the specimens appeared could be smooth and compacter significantly so as to produce better electrical characteristics than other conventional annealing methods. It was also found that impurity on the surface of the film will reduce. Several typical plasma parameters for low-pressure glow discharges, such as the temperature of YBCO films, treatment time, current, were also investigated. Therefore, high superconducting propertied YBCO film can be fabricated by MOD after plasma annealing in appropriate time. These results are presented providing evidence for the possibility of controlling the surface structuring of film surfaces.
- 【会议录名称】 第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ
- 【会议名称】第五届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】2004-09
- 【会议地点】中国北京·秦皇岛
- 【分类号】TM26
- 【主办单位】国家仪表功能材料工程技术研究中心、国家“863”计划新材料领域专家委员会、中国仪器仪表学会仪表材料学会、中国金属学会、中国稀土学会、中国复合材料学会、中国有色金属学会、重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、包头稀土研究院、钢铁研究总院、北京工业大学、燕山大学、山东大学、云南大学、上海交通大学、华中科技大学、天津大学、四川大学、湖南大学、大连理工大学、南京大学、清华大学、西南师范大学、北京科技大学、北京大学、厦门大学、中南大学、电子科技大学、重庆大学、福州大学、吉林大学、哈尔滨工业大学、武汉大学、西安理工大学、北京交通大学、西北工业大学、苏州大学、东北大学、复旦大学、武汉理工大学、浙江大学、北京理工大学、北京航空航天大学、中国科技大学、西南交通大学、南开大学、《功能材料与器件学报》编辑部、《功能材料》编辑部