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氧化物透明导电膜的研究进展

The summary of transparent conductive oxide films

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【作者】 李红霞刘宏王继扬李霞崔红梅

【Author】 LI Hong-xia, LIU Hong, WANG Ji-yang, LI Xia, CUI Hong-mei (State Key Laboratory of Crystal Growth, Shandong University, Ji’nan 250010, China)

【机构】 山东大学晶体材料国家重点实验室

【摘要】 介绍了透明导电薄膜主要的种类及发展过程,对氧化物透明导电薄膜的不同的制备工艺作了比较,并概括了氧化物透明导电薄膜的应用领域;在对氧化物透明导电薄膜的最新研究进展进行综合评述的同时,提出了透明导电薄膜的研究方向和目前亟待解决的问题.

【Abstract】 This paper simply introduces different kinds of transparent conductive oxide films and their development Ir this paper, different preparation methods for TCO are compared. At the same time, many different application field; of TCO are recommended. It not only simply presents the main research and measurement methods, but also brings forward the orientation and key points of TCO when making judge of the newest development of TCO.

【关键词】 导电率透过率制备工艺
【Key words】 conductivitytransmittancepreparation methods
【基金】 教育部重点研究计划资助项目(03104)
  • 【会议录名称】 第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ
  • 【会议名称】第五届中国功能材料及其应用学术会议
  • 【会议时间】2004-09
  • 【会议地点】中国北京·秦皇岛
  • 【分类号】TM241
  • 【主办单位】国家仪表功能材料工程技术研究中心、国家“863”计划新材料领域专家委员会、中国仪器仪表学会仪表材料学会、中国金属学会、中国稀土学会、中国复合材料学会、中国有色金属学会、重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、包头稀土研究院、钢铁研究总院、北京工业大学、燕山大学、山东大学、云南大学、上海交通大学、华中科技大学、天津大学、四川大学、湖南大学、大连理工大学、南京大学、清华大学、西南师范大学、北京科技大学、北京大学、厦门大学、中南大学、电子科技大学、重庆大学、福州大学、吉林大学、哈尔滨工业大学、武汉大学、西安理工大学、北京交通大学、西北工业大学、苏州大学、东北大学、复旦大学、武汉理工大学、浙江大学、北京理工大学、北京航空航天大学、中国科技大学、西南交通大学、南开大学、《功能材料与器件学报》编辑部、《功能材料》编辑部
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