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ZnO多孔纳米固体厚膜气敏传感器的制备和性质表征
Preparation and characterization of ZnO porous nanosolid gas sensors
【作者】 徐红燕； 刘秀琳； 李梅； 余丽丽； 王成建； 蒋民华； 崔得良；
【Author】 XU Hong-yan, LIU Xiu-lin, LI Mei, YU Li-li, WANG Cheng-jian,JIANG Min-hua, GUI De-liang(1. State Key Lab of Crystal Materials, Shandong University, Ji’nan 250100, China; 2. School of Physics & Microelectronics, Shandong University, Ji’nan 250100, China)
【机构】 山东大学晶体材料国家重点实验室； 山东大学物理与微电子学院；
【摘要】 以ZnO纳米粉(平均粒径30nm)为原料,利用水热热压方法制备了多孔的ZnO体块纳米固体,测试了以多孔纳米固体为原料制成的厚膜气敏传感器对挥发性有机化合物(VOCs)乙醇、丙酮、苯、甲苯和二甲苯蒸气的气敏特性,并与用ZnO纳米粉制备的厚膜传感器进行了比较.结果发现,与ZnO纳米粉相比,用.ZnO多孔纳米固体制备的厚膜传感器在空气中的电阻大大减小,最佳敏感温度降低、响应时间和恢复时间大大缩短.通过综合分析ZnO蚋米粉和ZnO多孔纳米固体的XRD、TEM及厚膜传感嚣的SEM测试结果研究了厚膜传感器气敏特性的差异.
【Abstract】 With unique Hydrothermal Hot-Press (HHP) technique, using ZnO nanopowdcrs (with average particle size of 30nm) as the starting materials, a new type of nanomaterial, bulk ZnO porous nanosolid was prepared. The gas-sensing properties of thick film sensors made from ZnO porous bulk nanosolid to alcohol, acetone, benzene, toluene and xylene were tested, and the data were compared with those of the device made from ZnO nanopowders. The results showed that, compared to the sensors made from ZnO nanopowders, the resistance (in air) of the sensor made from ZnO porous nanosolid reduced greatly, and its optimum sensitivity temperature was obviously lowered. At the same time, the response-recovery time also became shorter. The differences in gas sensing properties between the two kinds of sensors were analyzed on the basis of SEM, XRD and TEM measurements.
- 【会议录名称】 第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ
- 【会议名称】第五届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】2004-09
- 【会议地点】中国北京·秦皇岛
- 【分类号】TP212.2
- 【主办单位】国家仪表功能材料工程技术研究中心、国家“863”计划新材料领域专家委员会、中国仪器仪表学会仪表材料学会、中国金属学会、中国稀土学会、中国复合材料学会、中国有色金属学会、重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、包头稀土研究院、钢铁研究总院、北京工业大学、燕山大学、山东大学、云南大学、上海交通大学、华中科技大学、天津大学、四川大学、湖南大学、大连理工大学、南京大学、清华大学、西南师范大学、北京科技大学、北京大学、厦门大学、中南大学、电子科技大学、重庆大学、福州大学、吉林大学、哈尔滨工业大学、武汉大学、西安理工大学、北京交通大学、西北工业大学、苏州大学、东北大学、复旦大学、武汉理工大学、浙江大学、北京理工大学、北京航空航天大学、中国科技大学、西南交通大学、南开大学、《功能材料与器件学报》编辑部、《功能材料》编辑部