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铌酸锶钡薄膜制备及椭偏光谱研究

Study of fabrication and spectroscopic ellipsometry of SBN thin films

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【Author】 WANG Zheng, ZHANG Yue-li, GUO Yang-ming, MO Dang(State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies, Department of Physics,Zhongshan University, Guangzhou 510275, China)

【机构】中山大学光电材料与技术国家重点实验室物理系；

【摘要】用溶胶-凝胶法成功地制备出了退火温度分别为500、600、700、800、900℃的铌酸锶钡(SBN)薄膜:对制备出SBN薄膜分别进行了椭偏光谱测量研究,得到了不同退火SBN薄膜椭偏光谱参数曲线;并对测得的椭偏光谱进行了数值反演计算,得到了不同退火温度的SBN薄膜的光学常数谱.结果发现SBN薄膜的折射率和消光系数都随着退火温度的增高而增大.更多还原

【Abstract】 A series of SBN thin films with different annealing temperatures (500, 600, 700, 800, 900℃ ) are grown and fabricated by sol-gel method. Their ellipsometric spectra are gotten by SE measurement. The optical constants of SBN ferroelectric electro-optic thin films as a function of annealing temperature are found, both the refractive index n and the extinction coefficient k of the SBN thin films increase as annealing temperature increases.更多还原

【关键词】 SBN薄膜；溶胶-凝胶法；椭偏光谱；
【Key words】 SBN thin films； sol-gel； spectroscopic ellipsometry；

【基金】国家自然科学基金(50372085);教育部留学回国启动基金;广东省自然科学基金(021771)

【会议录名称】第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ

【会议名称】第五届中国功能材料及其应用学术会议

【会议时间】2004-09
【会议地点】中国北京·秦皇岛
【分类号】TB383

【主办单位】国家仪表功能材料工程技术研究中心、国家“863”计划新材料领域专家委员会、中国仪器仪表学会仪表材料学会、中国金属学会、中国稀土学会、中国复合材料学会、中国有色金属学会、重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、包头稀土研究院、钢铁研究总院、北京工业大学、燕山大学、山东大学、云南大学、上海交通大学、华中科技大学、天津大学、四川大学、湖南大学、大连理工大学、南京大学、清华大学、西南师范大学、北京科技大学、北京大学、厦门大学、中南大学、电子科技大学、重庆大学、福州大学、吉林大学、哈尔滨工业大学、武汉大学、西安理工大学、北京交通大学、西北工业大学、苏州大学、东北大学、复旦大学、武汉理工大学、浙江大学、北京理工大学、北京航空航天大学、中国科技大学、西南交通大学、南开大学、《功能材料与器件学报》编辑部、《功能材料》编辑部

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