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薄膜与贵金属靶材
【作者】 夏慧；
【机构】 北京有色金属研究总院；
【摘要】 <正> 三维材料结构向二维(薄膜)化发展是科学在材料潜能发掘的重要成果。高科技材料向薄膜转移,从而使镀膜器件日益发展,这也使得贵金属靶材得到广泛应用。用物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、分子束外延(MBE)等制备膜厚小于1.0微米多晶金属薄膜材料维“二维材料”,它的厚度t与电子平均自由和λ0相比、厚度与长度宽度相比均可不计,具有巨大的表面效应。它的
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司