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Fe/Mo多层膜的微观结构与应力研究
【机构】 清华大学材料科学与工程系；
【摘要】 <正> 本文采用电子束蒸镀技术制备Fe/Mo金属多层膜,研究了多层薄膜微结构和应力以及其之间的关系。实验中制备了两组Fe/Mo多层膜(固定Fe层厚度为1.5nm,改变Mo层厚度1.0-0.5nm,固定Mo层厚度为2.0nm,改变Fe层厚度1.5-7.5nm)。RBS、X射线衍射分析结果表明,电子束蒸镀的Fe/Mo多层膜具有良好的调制周期性,
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司