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直流磁控溅射方法制备掺Sb二氧化钛薄膜的特性研究
【机构】 复旦大学材料科学系；
【摘要】 <正> 具有锐钛矿结晶的二氧化钛由于其光致亲水亲油的双亲特性以及其光催化活性被广泛研究。文献报道,在二氧化钛薄膜中掺杂某些金属离子可以显著地改善其光催化活性。而Sb作为表面活性剂在分子束外延中改善薄膜表面态亦有报道。本文研究了在反应磁控溅射制备二氧化钛薄膜过程中,掺Sb对TiO2结晶性能进而对薄膜特性的影响。
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司