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MEMS中薄膜热物性的分子动力学模拟
【机构】 大连理工大学电子系；
【摘要】 <正> 在微纳米尺度范围,由于各种尺度效应的影响,传热规律常常明显不同于常规尺度下的传热规律,备种材料的常规热物性参数的适用性需要考察和重新测量。二氧化硅是MEMS器件中最常用的介质膜,准确知道它的热物理性质,如热容等参数,对MEMS器件的热管理和热设计有很重要的参考价值。由于对于极薄膜(如几十纳米)的热物性,目前实验的方法还很难准确测试,因此,计算机模拟是一种很好的研究方法。本文采用Accelrys公司的Discover软件,通过分子
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司