磁控溅射法制备BST/SBN复相薄膜研究

【作者】 周宗辉； 杜丕一； 翁文剑； 沈鸽； 韩高荣；

【机构】 浙江大学硅材料国家重点实验室；

【摘要】 <正> 热电型红外(IR)控测器与光子型IP控测器相比,具有无需致冷、重量轻、耗能少、造价低、操作方便以及可靠性高等许多优点,近年来,引起人们极大的兴趣。特别是热释电型IP控测器较其它的热电型IR控测器具有更高的控测率,所以得到了更广泛的关注。红外辐射敏感元是红外控测器的核心元件,它决定着控测器的整机性能,而红外敏感材料又是敏感元的核心。因此,研究开发高性能的热释电材料对提高热释电IR控测器的性能至关重要。热释电红外控测器有两种工作模式:一是利用材料的自发极化强度随着温度变化而改变的传统热释电更多还原