【作者】 田文超； 贾建援；

【Author】 Tian Wenchao Jie Jianyuan(School of Elec-mechanical, Xidian Univ. , Xi’an 710071, China)

【机构】 西安电子科技大学机电工程学院；

【摘要】 针对MEMS粘附现象,论述了有关粘附问题的研究现状,揭示了粘附的本质和研究范围,介绍了目前研究粘附问题所用的分子动力学、连续介质法、准连续介质法、蒙特卡罗法及纳米压痕法和悬臂梁法等各种计算和实验的前沿方法,并对粘附研究的发展提出了初步展望。更多还原

【Abstract】 Base on the existing problem of the micro sticking in the MEMS design, the progress of research of sticking is discussed. The feature of the sticking is clarified, and followed by the introducing of the molecule dynamic, continue medium, approximating continue medium, monte carlo and nano-indentation, nano-cantilever.更多还原