节点文献
基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术
【机构】 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室； 天津大学； 北京大学微电子学研究院；
【摘要】 随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统,在此系统之上,采用模糊图像合成技术对MEMS器件的平面微运动特性进行测量,并给出了测量结果。
【基金】 “863”高技术研究发展计划资助(2002AA404090)。
- 【会议录名称】 全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集（微纳制造技术应用专题）
- 【会议名称】微纳制造技术应用研讨会
- 【会议时间】2003
- 【分类号】TH703
- 【主办单位】中国机械工程学会