节点文献

透明导电氧化物薄膜的研究进展

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 李红霞； 刘宏； 王继扬； 崔红梅；

【机构】 山东大学晶体材料国家重点实验室；

【摘要】 <正>透明导电氧化物薄膜（transparent conductive oxide简称TCO）主要包括In,Sb,Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料,同时,人们还开发了Zn2SnO4,In4Sn3O12,MgIn2O4,CdIn2O4等多元透明氧化物薄膜材料。TCO薄膜的制备方法有多种,制备薄膜的各种方法,如磁控溅射法,反应热蒸发、金属有机化学汽相沉积、原子层外延、喷射热分解、脉冲激光沉积（属于物理气相沉积）、溶胶凝胶（sol-gel）等均可用于制备TCO薄膜。薄膜的性质是由制备工艺决定的,改进

【基金】 教育部科学技术研究重点项目(03104);国家自然科学基金(60025409);国家重大研究发展计划资助
  • 【会议录名称】 中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集
  • 【会议名称】中国硅酸盐学会2003年学术年会
  • 【会议时间】2003
  • 【会议地点】中国北京
  • 【分类号】O484
  • 【主办单位】中国硅酸盐学会（The Chinese Ceramic Society）
打印本页
节点文献中：