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火焰CVD法制备SiO2纳米颗粒材料的实验与理论研究

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【作者】 谢洪勇； 宁桂玲； 毛宗强； 孙雪； 张礼鸣；

【机构】 大连理工大学化工学院； 清华大学核能技术设计研究院；

【摘要】 本文以SiCl4为原料,以工业丙烷为燃料的火焰CVD工艺过程,实验研究了纳米SiO2颗粒的制备技术与过程。制备了无定型的球形纳米SiO2 颗粒材料。

【关键词】 工业丙烷； 火焰CVD； 纳米SiO2颗粒；
  • 【会议录名称】 纳微粉体制备与应用进展——2002年纳微粉体制备与技术应用研讨会论文集
  • 【会议名称】2002年纳微粉体制备与技术应用研讨会
  • 【会议时间】2002-05
  • 【会议地点】中国北京
  • 【分类号】O613.72
  • 【主办单位】中国颗粒学会、中国科学院纳米科技中心
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