节点文献
飞秒激光脉冲在石英玻璃前后表面的所产生的光破坏及微刻蚀
【机构】 北京大学人工微结构和介观物理国家重点实验室；
【摘要】 我们研究了用数值孔径0.4的显微物镜聚焦飞秒激光脉冲在空气中对石英玻璃前表面和后表面时破坏形貌和刻蚀。我们发现在表面诱导的光破坏形貌的变化对激光束焦点的位置很敏感,并且发现在相同能量下相比在前表面,在聚焦的激光脉冲后表面的破坏区域要小,而且可以达到非常好的微加工质量。在后表面我们最小获得了直径400nm的破坏区域。因此对于在空气中透明介质样品的微加工而言,将激光脉冲聚焦于样品后表面将成为一种可以获得高的加工质量和分辨率的方法。
- 【会议录名称】 Strong Field Laser Physics--Proceedings of CCAST(World Laboratory) Workshop
- 【会议名称】CCAST“2002年全国强场激光物理”研讨会
- 【会议时间】2002-10
- 【会议地点】Beijing, China
- 【分类号】TN24
- 【主办单位】中国高等科学技术中心、中国科学院上海光学精密机械研究所、中科院北京大学超快光科学与激光物理联合中心