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新型多元胞结构2BT100固体放电管结构设计与真空工艺

Design and process for 2BT100 Solid Arrester Of the New type Multi Cell Structure

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【作者】 俞诚； 王文源； 计建新； 何金华；

【Author】 Yu Cheng Wang Wen Yuan JiJianXin HeJinHua (China Huajing Microelectronics Co.LTD.Wu Xi 214016)

【机构】 无锡华晶微电子股份有限公司；

【摘要】 本文简要阐述了新型半导体器件2BT100固体放电管的研制,在设计上采取了多元胞结构,在制作上采用了双面扩散技术;提供了一些工艺过程,介绍了有关真空系统,给出了一些测试数据。

【Abstract】 The research and manufacture of the newn type semiconductor 2BT100 solid arrester is simply introduced in the paperMulti cell structure is adopted in design and Double-face diffusion technology is used in manufacture.Process procedure is given.SimultaneousIy, the vacuum system is introduced, some tested data is also given.

【关键词】 多元胞； 放电管； 双面扩散； 真空注入；
【Key words】 Multi Cell Arrester Double-face diffusion Implantation in vacuum system；
  • 【会议录名称】 江苏省真空学会第十届学术交流会论文集
  • 【会议名称】江苏省真空学会第十届学术交流会
  • 【会议时间】2002-06
  • 【会议地点】中国南京
  • 【分类号】TN807
  • 【主办单位】江苏省真空学会
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