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SPM测量误差与纳米计量
【机构】 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系；
【摘要】 <正> SPM仪器发明二十年来,已在纳米科技领域中发挥了不可替代的关键作用。然而,定量地分析纳米测量的不确定度以及为此制定出它的技术标准方面的研究还有待进一步深入。
- 【会议录名称】 2001年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集
- 【会议名称】2001年纳米和表面科学与技术全国会议
- 【会议时间】2001-05
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TH744
- 【主办单位】中国真空学会表面与纳米科学与技术专业委员会、中国科学院物理研究所北京真空物理开放实验室