【作者】 吴春俐； 于宝琦； 白质明；

【Author】 Wu Chunli Yu Baoqi Bai Zhiming(Northeastern University,Shenyang 110006,China) (Benxi metallurgy technical college,Benxi 117022,China)

【机构】 东北大学； 本溪冶金专科学校；

【摘要】 探测效率是X射线光电子能谱仪一个很重要的仪器参数。本文提出了两种测量谱仪探测效率的方法,并对国产的NP-1A型XPS谱仪的探测效率进行了测量。根据谱仪的探测效率曲线可以对原子灵敏度因子进行定标,这对于XPS定量分析具有很重要的应用价值。更多还原

【Abstract】 Detective efficiency is an important instrumental parameter of X-ray photoelectron spectrometer.Two kinds of methods are presented for the measurement of detective efficiency in the paper,and the detective efficiency of NP-1A spectrometer made in China has been acquired.Atomic sensitivity factors can be calibrated by using the curve of detective efficiency.It plays an important role in XPS quantitative analysis.更多还原