【作者】 龙志峰； 韩荔； 李庆祥； 白立芬；

【Author】 Long Zhifeng Han Li Li Qingxiang Bai Lifen (Department of Precision Instrument and Mechanology, Tsinghua University,Beijing 100084)

【机构】 清华大学精密仪器与机械学系；

【摘要】 本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器,其参数经有限元分析优化,并采用了平头隧道电极,变送器的控制采用“力平衡”方式。设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行,无需进行后续组装。更多还原

【Abstract】 The authors have designed a new miniaturized surface micromachined tunneling transducer. The transducer structures are fabricated on the surface of a single silicon wafer and consist of a polysilicon bridge with electrostatic deflection electrodes and a flat tunneling one underneath. The structure are verified by FEM (Finite Elements Method). The device are operated in a force rebalance feedback mode. The processing of the transducer is ongoing.更多还原