【作者】 刘丰珍； 朱美芳； 冯勇； 韩一琴； 刘金龙； 汪六九；
【机构】 中国科学院研究生院；
【摘要】 <正>微晶硅薄膜的高吸收系数、光照稳定性和易于实现低温、大面积、低成本等优点,使其在薄膜太阳电池和薄膜晶体管等大面积电子学方面有着明确的应用.作为混合相新型材料,在薄膜中存在晶粒、非晶、晶粒边界和微空洞,基于薄膜体系的结构多元化和复杂性,更多还原
