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VHF-PECVD氢化微晶硅薄膜制备研究
【作者】 杨恢东； 麦耀华； 吴春亚； 薛俊明； 耿新华； 熊绍珍；
【机构】 南开大学光电所；
【摘要】 <正>近年来,材料研究领域出现了一种十分有趣的现象:晶体材料和非晶材料的研究者们越来越多地关注微晶(含纳米晶)薄膜材料的研究,应用极其广泛的硅材料研究更是如此.由于微晶硅(含纳米硅)薄膜具有不同于单晶硅、多晶硅及非晶硅的独特性质,已成为硅材料研究领域的新热点,并且经过人们多年来的不断探索,微晶硅薄膜材料的研究取得了较大的进展.
【基金】 “ 973”国家重点基础发展规划项目资助(课题号:G20000282-3)
- 【会议录名称】 中国太阳能学会2001年学术会议论文摘要集
- 【会议名称】中国太阳能学会2001年学术会议
- 【会议时间】2001-10
- 【会议地点】中国青岛
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国太阳能学会