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用带电粒子活化法作重掺杂硅中氧氮含量的分析
【作者】 巩玲华； 王建勇； 路祥臣； 杨向军； 谢大林； 龚建华；
【机构】 北京大学重离子物理研究所；
【摘要】 用带电粒子活化法分析重掺杂硅中氧氮含量的工作在北京大学静电加速器上初步开展起来了,通过对实验设备的改进和完善以及对部分样品的测量,得到了一些初步结果,也发现了一些待改进的问题。在此基础上,将努力在北大重离子所建成C、N、O分析的规范方法(CPAA),以满足国内材料研究的需求。
- 【会议录名称】 ’2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
- 【会议名称】’2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议
- 【会议时间】2001-11
- 【会议地点】中国深圳
- 【分类号】TN304
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、粒子加速器学会离子源专业组、中国电子学会焊接专业委员会、北京电机工程学会加速器专业委员会