【作者】 徐晓东； 张飞飞； 张淑仪； 刘天柱； 水修基；

【Author】 X. D. Xu, F. F. Zhang, S. Y. Zhang, T. Z. Liu and X. J. ShuiLab of Modern Acoustics, Institute of Acoustics, Nanjing University, Nanjing 210093

【机构】 南京大学声学研究所；

【摘要】 <正>1.引言 由于薄膜材料的性质不同于体材料的性质,利用激光超声研究薄膜材料的微结构及其性质已成为一个重要的研究领域。激光超声技术由于具有无接触、无损、快速等无可比拟的优点,因而如何使用激光超声技术对薄膜材料评价已成为一个重要的研究方向。本文所介绍的是在光偏转技术检测超声位移的基础上改进的光差分检测技术,通过检测光强的相对变化,得到声表面波在样品表面的传播规律。我们利用激光照射于沉积在基片表面的薄膜上激发表面声波,并利用外差光检测器探测表面声波位移。利用实验更多还原