【作者】 程利平； 张广明； 张淑仪； 郁炯； 水修基；

【Author】 Cheng L. P., Zhang G. M., Zhang S. Y., Yu J., Shui X. J.(State Key Lab of Modern Acoustics, Institute of Acoustics, Nanjing University)

【机构】 近代声学国家重点实验室；

【摘要】 <正>1.引言 超声马达相对于传统电磁马达来说,由于其具有很好的特性,如力矩大、易于控制、工作时噪声小、无电磁感应以及适合于小型化等优点,引起广泛的兴趣。1994年,Kurosawa等人首先提出用瑞利波来驱动马达并验证了用频率为10MHz的瑞利波驱动线性马达的可能性。为了将这马达微型化,他们将瑞利波的频率提高到50MHz,而马达仍能正常运行。但是,这些用瑞利波驱动的马达都只能作为微型线性传动器。之后,我们首次提出了工作频更多还原