节点文献

低阻SnO2薄膜的制备及其性质研究

Preparation of low Resistance SnO2 Thin Film and Study on its Properties

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 李爱武； 陈丽华； 白旭东； 吴连海； 王修中； 贾秀利； 全宝富；

【Author】 LI Ai-wu;CHEHG Li-hua;BAI Xu-dong;WU Lian-hai;WANG Xiu-zhong;JIA Xiu-li;QUAN Bao-fu Department of electronic Engineering Department of Physics, Jilin University Changchun, 130023, China Jilin Huaxing electronic group company, Jilin, 132011, China Jilin College of Grain Technology Changchun, 130023, China

【机构】 吉林大学电子工程系； 吉林大学物理系； 吉林华星电子集团公司； 吉林粮食高等专科学校；

【摘要】 采用Sol-Gel法制备了SnO2薄膜.研究了掺杂含量、气氛处理、烧结时间、Cl-等实验条件对SnO2薄膜电阻的影响,分析了影响的机理,并利用这种低阻SnO2薄膜制作成热线型气敏元件,发现它对H2S气体具有较好的气敏特性,表现出良好的选择性,同时具有较好的响应.恢复特性.

【Abstract】 The SnO2 thin film of low resistant was prepared by Sol-Gel Method. The relation between the preparedcondition （such as the content of Sb, the sintering atmosphere, sintering time and Cl-） and the resistance of the thin filmhas been studied. The heat-wire gas sensor prepared with SnO2 thin film is sensitive for H2S gas. It also showed goodquality of response and recovery besides excellent selectivity.

【关键词】 Sol—Gel法； SnO2薄膜； 气敏特性；
【Key words】 Sol-Gel method； SnO2 thin film； gas sensitive properties；
【基金】 国家自然科学基金(69774027)
  • 【会议录名称】 第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集
  • 【会议名称】第四届中国功能材料及其应用学术会议
  • 【会议时间】2001-10
  • 【会议地点】中国厦门
  • 【分类号】TB383
  • 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料分会
打印本页
节点文献中：