【作者】 邓加军； 陈强；
【机构】 北京航空航天大学理学院；
【摘要】 本文介绍了纳米硅薄膜的掺杂及其应用研究进展,包括制备技术、生长机制、微结构、掺杂特性、电输运、光学特性以及应用等几个方面。这些研究进展说明,纳米硅薄膜是一种具有广泛应用前景的半导体光电材料,预期在将来有更大的发展。更多还原
