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桥式RF-MEMS开关材料对开关特性影响研究
【机构】 清华大学微电子学研究所；
【摘要】 为了获得高性能RF-MEMS开关,本文对桥式RF-MEMS开关进行深入的静电与力学分析,得到了相关模型与公式,在此基础上讨论了器件几何结构参数、材料的力学和电学特性对开关参数的影响,指出通过改变间距、梁膜厚度,选用高介电常数材料可进一步提高开关性能。
【基金】 973国家重点研究基础发展项目,合同号:G1999033105
- 【会议录名称】 第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集
- 【会议名称】第一届全国纳米技术与应用学术会议
- 【会议时间】2000-11
- 【会议地点】中国厦门
- 【分类号】TH703
- 【主办单位】中国电子学会