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采用PZT薄膜的射频滤波器研究
【机构】 清华大学微电子研究所；
【摘要】 微机械加工技术是提高射频通信前端器件性能、缩小其体积的有效方法。文中介绍了应用MEMS(微电子机械系统)技术的体声波射频滤波器的原理、结构,分析了PZT的材料特性,优化了硅基薄膜的制备、退火、刻蚀等集成工艺,并在此基础上设计了以该材料为核心的射频滤波器,模拟了该器件的性能。
【基金】 国家973;清华大学985课题资助
- 【会议录名称】 第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集
- 【会议名称】第一届全国纳米技术与应用学术会议
- 【会议时间】2000-11
- 【会议地点】中国厦门
- 【分类号】TN713
- 【主办单位】中国电子学会