【作者】 钮利荣； 李拂晓； 蒋幼泉； 林金庭； 刘庭华； 章文勋；
【机构】 南京电子器件研究所； 东南大学；
【摘要】 本文给出了用MEMS技术设计和研制的Ku波段准单片压控振荡器和全单片的MEMS振荡辐射天线。其中准单片振荡器输出功率达10mW,全单片MEMS辐射天线的振荡器与微型天线制作在一个GaAs衬底上,芯片面积为1.5×3.0 mm~2。更多还原
