PZT厚膜工艺在射频天线中运用

【作者】 林州； 樊明延； 任天令； 刘理天；

【机构】 清华大学微电子研究所； 清华大学电子工程系；

【摘要】 锆钛酸铅(PZT)作为一种性能优良的铁电材料,在许多领域中都得到应用。本文提出一种制备100μm～150μmPZT厚膜的工艺方法,并且在此基础上提出了一种工作于800M～4GHz的基于厚膜工艺的新型射频(RF)天线设计。在制备PZT厚膜中,设计采用了厚膜集成电路中常用的丝网印刷工艺,为了控制天线的频段和损耗,采用了平面光子带隙(UC—PBG)结构。本设计提出的射频天线具有优良的特性,尺寸比常规同频段的天线小一个数量级,可望在新一代移动通讯领域得到重要应用。更多还原