【作者】 贾玉斌； 陈良惠； 李玉璋；
【机构】 中国科学院半导体研究所；
【摘要】 对悬臂梁微机械光开关光学和电学特性进行了理论分析,利用有效折射率方法对波导传播特性进行了分析;基于机械和电学特性导出了弯曲和电压的关系,并给出阈值电压的解析表式。更多还原
