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纳米Si薄膜的压阻特性研究
【机构】 北京理工大学电子工程系； 南京大学物理系；
【摘要】 纳米Si薄膜由大量的超微Si晶粒和大量的晶粒间界面区组成。这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应。本文讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用,认为纳米Si薄膜材料是一种优秀的传感器材料。
【基金】 国家自然科学基金;国防预研基金资助
- 【会议录名称】 第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集
- 【会议名称】第一届全国纳米技术与应用学术会议
- 【会议时间】2000-11
- 【会议地点】中国厦门
- 【分类号】TB383
- 【主办单位】中国电子学会