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传感器贴片表面化学处理工艺的研究
【机构】 浙江省称重技术研究所； 浙江大学信电系；
【摘要】 应变式力传感器的制作工艺中,贴片部位的表面处理质量的好坏直接影响传感器的性能。目前国内绝大多数厂家仍采用砂纸打磨或喷砂处理等物理方法。本文详细介绍了铝合金传感器电化学处理的工艺要点、处理后表面的是电镜扫描图象,与机械方法处理的表面的粘接特性比较以及采用电化学处理工艺的传感器成品性能测试数据,论述了电化学处理工艺的诸多优点。文中还分析了主要工艺参数对表面质量的影响。并简要介绍了钢传感器贴片表面磷化处理的试验结果。同样说明贴片表面化学处理工艺的优点。
- 【会议录名称】 2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集
- 【会议名称】2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会
- 【会议时间】2000-07
- 【会议地点】中国哈尔滨
- 【分类号】TP212
- 【主办单位】中国电子学会敏感技术分会力敏专业委员会