节点文献
微型硅谐振式压力传感器研制
【机构】 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室；
【摘要】 作者利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因数Q值在真空中大于10000。采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性,压力测试范围0～400kPa,线性相关系数0.9999.测试精度小于0.1%FS。
- 【会议录名称】 2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集
- 【会议名称】2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会
- 【会议时间】2000-07
- 【会议地点】中国哈尔滨
- 【分类号】TP212
- 【主办单位】中国电子学会敏感技术分会力敏专业委员会