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软X射线光学的研究进展
【机构】 长春光学精密机械与物理研究所；
【摘要】 <正>软X射线光学研究是近20年发展起来的一门新兴的应用学科,在空间天文学、激光核聚变、生命科学、材料科学、光刻技术等学科和高技术领域均有应用,尤其是在软X射线天文观测、显微术和光刻术中应用较成熟,其基础是诸如软X射线源、多层膜及超光滑表面加工技术等软X射线光学关键单元技术的日臻成熟.自1997年起,本研究小组开展了无污染CO2冷冻靶及气体靶激光等离子体软X射线光源的研究工作,并在软X
- 【会议录名称】 西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集
- 【会议名称】中国科协2000年学术年会
- 【会议时间】2000
- 【分类号】O434.1
- 【主办单位】中国科学技术协会