节点文献
靶材及其应用
【机构】 北京有色金属研究总院；
【摘要】 从溅射靶材的物理意义和靶材的应用分类、靶材应用的技术要求、靶材的制造工艺、靶材与底盘的连接方式及要求、靶材的市场销售、靶材的发展等几个方面进行了评述。重点评述了用于微电子产业的半导体关联靶材及透明导电用ITO靶材,最后提出了研究与开发靶材的几点看法。
- 【会议录名称】 中国有色金属学会第三届学术会议论文集——科学技术论文部分
- 【会议名称】中国有色金属学会第三届学术会议
- 【会议时间】1997-10
- 【会议地点】中国长沙
- 【分类号】TN305
- 【主办单位】中国有色金属学会