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LaB6阴极的制备、应用与展望

Preparation, application and prospect of LaB6 cathodes

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【作者】 徐跃凡； 茹亚东； 左婷婷； 伍岳； 王鹏飞； 刘俊标； 高召顺； 韩立； 肖立业；

【Author】 XU Yuefan;RU Yadong;ZUO Tingting;WU Yue;WANG Pengfei;LIU Junbiao;GAO Zhaoshun;HAN Li;XIAO Liye;Institute of Elctrical Engineering, Chinese Academy of Sciences;University of Chinese Academy of Sciences;

【通讯作者】 高召顺;

【机构】 中国科学院电工研究所； 中国科学院大学；

【摘要】 六硼化镧（LaB6）阴极作为一种优异的热发射电子源，应用领域广泛，是高端电子束仪器及设备的关键元器件。本文系统介绍了LaB6材料的制备和加工方法、阴极常见的装卡方式，总结了其在各领域应用现状，并对其发展前景进行了展望。

【Abstract】 As a fantastic thermal emission electron source, lanthanum hexaboride（LaB6） cathode has a wide range of applications and is a key component in advanced electron beam instruments and equipments. This paper systematically reviews the preparation and processing method of LaB6 materials, the common mounting method, its present application and prospect.

【关键词】 LaB6； 单晶； 阴极器件； 电子束设备；
【Key words】 LaB6； single crystal； cathode； electron beam equipment；
【基金】 国家重点研发计划项目(No.2022YFF0709400);中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目(“电弧熔炼炉电子束/电弧多功能熔炼功能开发”和“扫描电子显微镜二次电子发射系数及能谱分析功能开发”)
  • 【文献出处】 电子显微学报 ,Journal of Chinese Electron Microscopy Society , 编辑部邮箱 ,2024年02期
  • 【分类号】O462.1
  • 【下载频次】32
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