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扫描探针显微技术及其精密工程应用

Applications of scanning probe microscopy and precision engineering

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【作者】 丁力；

【机构】 成都理工大学核技术与自动化工程学院；

【摘要】 本文首先简单介绍了SPM自身的一些基本关键技术,阐述了其精密工程的应用,重点指出了纳米级加工机理的研究在一定的程度上依赖于SPM的多功能化和复合化。

【关键词】 扫描探针显微技术； 精密工程； 应用；
  • 【文献出处】 橡塑技术与装备 ,China Rubber/Plastics Technology and Equipment , 编辑部邮箱 ,2015年24期
  • 【分类号】TB383.1
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