【作者】 吕凤年； 张臻； 尹宪华；
【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所；
【摘要】 近年来,随着对高功率激光物理研究的不断深入,激光装置已朝着多束、大型化的方向发展。激光驱动器内包含大量真空腔体,使用的配套真空设备数量众多,为了便于集中控制和管理,设计了相应的真空自动化控制系统,利用西门子PLC对全系统进行实时监控。更多还原
