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MOCVD反应腔中蓝宝石片温度均匀性研究
【摘要】 蓝宝石片高温翘曲且半透明,本文利用Comsol Multiphysics流体与传热模块耦合的有限元方法对本公司和另一常见MOCVD反应腔体和加热器进行高温环境的稳态建模,考虑了翘曲导致的导热不均匀以及耦合了参与介质的辐射。研究了蓝宝石片表面的温度稳态情况,评估了不同腔体和加热器结构温度均匀性在±1K以内的均温效果。
【基金】 973项目“高性能LED制造与装备中的关键基础问题研究”子课题“MOCVD新型反应腔设计、LED缺陷抑制和量子效率调控”(项目编号:2011CB013103)
- 【文献出处】 科技传播 ,Public Communication of Science & Technology , 编辑部邮箱 ,2013年02期
- 【分类号】TN304.055
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