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乙硅烷的制备

Preparation Methods of Disilane

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【作者】 余京松； 沃银花；

【Author】 YU Jingsong,WO Yinhua(Semiconductor Materials Research Institute,Zhejiang University,hangzhou 310027,China)

【机构】 浙江大学半导体材料研究所；

【摘要】 概述了乙硅烷的制备方法并对各种方法进行了评价。

【Abstract】 The preparation methods of disilane are introduced briefly,and various methods are evaluated.

【关键词】 乙硅烷； 制备；
【Key words】 disilane； preparation；
  • 【文献出处】 低温与特气 ,Low Temperature and Specialty Gases , 编辑部邮箱 ,2013年01期
  • 【分类号】O627.41
  • 【被引频次】4
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