【作者】 王金婵； 孟庆端； 张晓红； 田葳；
【机构】 河南科技大学电子信息工程学院；
【摘要】 《半导体制造技术》主要讲述半导体集成电路的制造全过程。该课程专业性强,涉及到的专业知识面广,但是课时数少,笔者根据教学经验,从课堂教学手段,实践教学等方面提出了一些方法与措施,在解决课时数少和知识点多的同时,激发学生兴趣以及积极性,培养学生系统的思维方法。更多还原
