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Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜制备及光电性能研究

Synthesis and Optoelectrical Properties of Al-Y Co-doped ZnO Transparent Conducting Thin Films

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【作者】 阳生红； 蒋志洁； 张曰理； 汤健； 王旭升；

【Author】 YANG Shenghong1,JIANG Zhijie1,ZHANG Yueli1,2,TANG Jian1,WANG Xusheng1(1.State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies // School of Physics & Engineering, Sun Yat-sen University,Guangzhou 510275,China; 2.State Key laboratory of Crystal Material,Shandong University,Jinan,250100,China)

【机构】 中山大学光电材料与技术国家重点实验室//物理科学与工程技术学院； 山东大学晶体材料国家重点实验室；

【摘要】 采用溶胶-凝胶法,在玻璃衬底上制备出Al-Y共掺杂的ZnO透明导电薄膜。X射线衍射(XRD)表明,Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向。制备的Al-Y共掺杂ZnO薄膜电阻率最小值为1.63×102Ω·cm,在可见光区(400-800 nm)平均透过率超过85%。

【Abstract】 The Al-Y co-doped ZnO tranparent conducting thin films were prepared on glass by Sol-Gel method.X-ray diffraction(XRD) showed they have hexagonal wurtzite structure with a C-axis preferred orientation.Its minimum resistivity is 1.63×102 Ω·cm,and the average transmittance in the visible region(400-800 nm) is beyond 85 %.

【关键词】 Al-Y共掺杂； ZnO透明导电薄膜； 溶胶-凝胶；
【Key words】 Al-Y co-doping； ZnO tranparent conducting film； Sol-Gel method；
【基金】 国家自然科学基金资助项目(61176010,61172027);广东省自然科学基金资助项目(S2011010001397)
  • 【文献出处】 中山大学学报(自然科学版) ,Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni , 编辑部邮箱 ,2011年06期
  • 【分类号】O484.4
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】147
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