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AZO薄膜绒面制备方法研究进展

Research progress of preparation of textured AZO thin film

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【作者】 周俊； 张大伟； 黄元申； 倪争技； 庄松林；

【Author】 ZHOU Jun,ZHANG Da-wei,HUANG Yuan-shen,NI Zheng-ji,ZHUANG Song-lin (College of Optical and Electronic Information Engineering,University of Shanghai for Science and Technology,Shanghai 200093,China)

【机构】 上海理工大学光学与电子信息工程学院；

【摘要】 综述了AZO透明导电薄膜绒面的间接制备方法,包括湿法腐蚀和干法刻蚀两种。对各种绒面制备方法进行了比较和总结,提出了掺铝氧化锌薄膜绒面制备工艺中需要解决的关键问题。

【Abstract】 Indirect preparation of textured AZO transparent conductive thin film is reviewed here,including wet etching and dry etching.Various preparation technologies are compared and summarized and the key problem in preparing textured AZO thin film is proposed.

【关键词】 AZO薄膜； 绒面； 刻蚀； 太阳电池；
【Key words】 AZO thin film； textured surface； etching； solar cell；
【基金】 上海市宝山区产学研项目(cxy-2009-22)
  • 【文献出处】 激光杂志 ,Laser Journal , 编辑部邮箱 ,2011年02期
  • 【分类号】O484.1
  • 【被引频次】1
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