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湿氢对陶瓷金属化质量的影响

The Influence of Hydrogen Humidity on Product Quality of Ceramic Metallization

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【作者】 黄亦工； 刘晓芳； 刘慧卿；

【Author】 HUANG Yi-gong,LIU Xiao-fang,LIU Hui-qing(Beijing Vacuum Electronics Research Institute,Beijing 100015,China)

【机构】 北京真空电子技术研究所；

【摘要】 通过BTU金属化炉湿氢作用的研究,找到了95%Al2O3陶瓷金属化过程中釉层发黑的原因,提出了相应的解决方法。并分析了湿氢流量对金属化质量的影响,提出了提高金属化强度的工艺方案。

【Abstract】 We studied the function of the hydrogen humidity in the BTU metalizing furnace,found out the reason why the glaze turning to black in Mo-Mn process of 95% Al2O3 ceramic and gave the way to solve the problem.By analyzing the influence of hydrogen humidity to the metalizing quality,we proposed the process project to improve the metalizing strength.

【关键词】 金属化； 湿氢； 95%Al2O3陶瓷；
【Key words】 Metallization； Hydrogen humidity； 95% Al2O3 ceramic；
  • 【文献出处】 真空电子技术 ,Vacuum Electronics , 编辑部邮箱 ,2010年02期
  • 【分类号】TQ174.64
  • 【被引频次】7
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