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改良西门子工艺生产多晶硅的安全问题

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【摘要】 本文结合我国多晶硅行业的实际情况,针对改良西门子工艺的特点,对多晶硅生产过程中涉及的危险有害物质和危险有害因素进行了系统全面的分析,并提出了合理可行的安全对策和建议。

【关键词】 改良西门子工艺多晶硅安全
  • 【文献出处】 安全 ,Safety , 编辑部邮箱 ,2010年02期
  • 【分类号】TQ127.2
  • 【被引频次】9
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