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双层辉光等离子多元共渗源极成分设计

Source cathode composition design in multi-element surface alloying by double glow plasma technique

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【作者】 张艳梅； 李忠厚； 徐重；

【Author】 ZHANG Yan-mei1,LI Zhong-hou2,XU Zhong2(1.Faculty of Materials and Energy,Guangdong University of Technology,Guangzhou Guangdong 510006,China;2.Research Institute of Surface Engineering,Taiyuan University of Technology,Taiyuan Shanxi 030024,China)

【机构】 广东工业大学材料与能源学院； 太原理工大学表面工程研究所；

【摘要】 以工业纯铁表面形成Fe-11W-7Mo-23Co型合金为例,阐述了双层辉光离子多元共渗的源极成分设计思路。通过对工业纯铁表面进行W、Mo、Co多元共渗,探讨了合金元素溅射产额的不同对源极溅射成分的影响。结果表明,双层辉光离子多元共渗时,源极成分设计可以忽略合金元素溅射产额的影响。

【Abstract】 Source cathode composition design was investigated in multi-element surface alloying by double glow plasma technique with the example of forming Fe-11W-7Mo-23Co alloy in surface of pure iron.The influence of different element sputtering rates on sputter produce was discussed by W-Mo-Co co-diffusion.The experiment results show that the influence of different element sputtering rates can be neglected in source cathode composition design.

【关键词】 双层辉光等离子渗金属； W、Mo、Co多元共渗； 源极成分设计；
【Key words】 double glow plasma surface alloying； W,Mo,Co co-diffusion； source cathode compositions design；
【基金】 国家自然科学基金(50571074);广东工业大学博士基金(073019)
  • 【文献出处】 金属热处理 ,Heat Treatment of Metals , 编辑部邮箱 ,2009年11期
  • 【分类号】TG156.8
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】117
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