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椭偏仪的测量研究和误差分析

ELLIPSOMETER MEASUREMENTS AND ERROR ANALYSIS

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【作者】 张宏琴； 王海燕；

【Author】 Zhang Hongqin Wang Haiyan (Jilin Institute of Chemical Technology,Jilin,132022)

【机构】 吉林化工学院；

【摘要】 本文通过模拟数据的计算,详细分析了椭圆偏振仪数据处理的复杂性,讨论了搜寻精度对准确求解的影响。

【Abstract】 The complexity of ellipsometer data processing was detailed analyzed,by the calculation of simulation data,and the impact to accuracy by search accuracy was discussed.

【关键词】 椭圆偏振； 薄膜； 厚度；
【Key words】 elliptic polarization； film； thickness；
  • 【文献出处】 大学物理实验 ,Physical Experiment of College , 编辑部邮箱 ,2009年02期
  • 【分类号】O4-33
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】592
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